三軸加速度傳感器的主要類型有壓阻式、壓電式、靜電電容式三種，將測(cè)量對(duì)象的加速度轉(zhuǎn)換為傳感器單元的電阻/電壓/電容的變化，利用轉(zhuǎn)換電路將傳感器單元的變化值轉(zhuǎn)換為電壓值，根據(jù)信號(hào)進(jìn)行放大和濾波處理，得到模擬量，將模擬量處理為合適的穩(wěn)定的輸出信號(hào)，此時(shí)輸出的信號(hào)為電壓值，最后通過(guò)ADC轉(zhuǎn)換器（模數(shù)轉(zhuǎn)換器），轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。 三軸加速度傳感器的主要感應(yīng)方式是測(cè)量電阻值、靜電電容值、應(yīng)力、應(yīng)變、位移等微小物理量的變化，并用電壓信號(hào)表現(xiàn)這些變化量。 是用于將加速度這一物理信號(hào)轉(zhuǎn)換為容易測(cè)量的電信號(hào)的測(cè)試儀器。 差容式力平衡加速度傳感器將測(cè)量的加速度轉(zhuǎn)換為電容器的電容變化。 實(shí)現(xiàn)這種功能的方法有可變間隙、可變面積、可變介電常數(shù)3種，差動(dòng)式力平衡加速度傳感器利用可變間隙，且采用差動(dòng)式結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，動(dòng)態(tài)響應(yīng)好，可進(jìn)行無(wú)接觸式測(cè)量，靈敏度高，分辨率強(qiáng)由于自身電容一般很小，幾pF到幾百pF，其電容達(dá)到幾米的近年來(lái)，集成電路得到了廣泛應(yīng)用，使電子電路與傳感器極板緊密接觸，逐漸克服了寄生電容、非線性等缺點(diǎn)。
搭載在壓縮機(jī)上的三軸加速度傳感器是由滾動(dòng)軸承支撐的轉(zhuǎn)子，其振動(dòng)傳遞到軸承蓋，安裝在軸承蓋上的振動(dòng)速度傳感器利用內(nèi)部的運(yùn)動(dòng)線圈切斷磁力線輸出電壓，將信號(hào)發(fā)送到監(jiān)視器，測(cè)試機(jī)械故障并報(bào)警。
